本文標(biāo)題:"測(cè)量工件表面粗糙度和機(jī)械幾何圖形測(cè)量顯微鏡"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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測(cè)量工件表面表面粗糙度儀和機(jī)械幾何圖形測(cè)量顯微鏡
針描方法
用手指或指甲觸摸表面而發(fā)展到用針描方法,這種方法是用一鉆
石針尖沿著一條超級(jí)來(lái)探測(cè)表面,從三維表面記錄下二維的輪廓截
面作粗糙度測(cè)量,觸針把測(cè)得的形狀偏差變成電信號(hào)再進(jìn)一步處理
,這種測(cè)量?jī)x器稱作電針描式儀器。
測(cè)量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中對(duì)于簡(jiǎn)
單的表面已得到了和機(jī)械法測(cè)量相一致的結(jié)果,下一步是要修正由
更復(fù)雜表面所得到的結(jié)果;如車(chē)削、磨削和研磨的表面粗糙度,完
成了這一點(diǎn),儀器量程便從現(xiàn)在的10μm擴(kuò)展到1mm更大,這將極大
地提高它的使用性能。
顯微鏡還存在由于儀器目前的結(jié)構(gòu)所強(qiáng)加的某些限制,例如它不
能用于測(cè)量小孔且需移動(dòng)工件,在那些用接觸法不合適的場(chǎng)合,這
種類型的儀器將會(huì)有很多用途,同時(shí)不可用于標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室代替機(jī)械
儀器。
我們近年來(lái)使用的干涉顯微鏡,它利用剪切法不但能作一般干涉
測(cè)量和微分干涉觀察,而且還能對(duì)微小樣品作干涉相應(yīng)差測(cè)量,是
一種應(yīng)用范圍很廣的儀器。
這里所說(shuō)的利用剪切法作一般干涉測(cè)量,是把兩支光路過(guò)來(lái)的象
,完全分離并使它們產(chǎn)生干涉的方法,而微分干涉是利用分辨率以
下的剪切重疊干涉的方法。
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