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本文標題："掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2016-9-27 16:13:42

掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析

掃描電子顯微鏡SEM

　　現(xiàn)在掃描電子顯微鏡廣泛應用在氧化膜形貌的觀察和分析上。入射

電子束在樣品表面掃描，激發(fā)的二次電子和背散射電子被探測器接收，

產生電信號調節(jié)電視監(jiān)視器的亮度，由于監(jiān)視器的掃描與電子束同步，

而且產生的二次電子和背散射電子的數(shù)量取決于樣品表面某微區(qū)的傾角

和聚焦深度，因此生成的圖像與樣品的表面形貌完全對應。用背散射電

子成像還可獲得有關原子平均質量方面的信息。配置場發(fā)射電子槍的現(xiàn)

代掃描電子顯微鏡圖像"1放大倍數(shù)可高達100 000倍，分辨率達1 000 n

m。

　　因為人射電子還能從固體中激發(fā)出元素的特征x射線，所以可檢測

固體中存在的元素，如果做適當?shù)男剩€可確定各元素的含量。x射

線探測器的輸出還可用于調節(jié)監(jiān)視器的亮度，從而得出指定元素的相對

含量圖。由于能夠同時給出顯微組織和組成方面的信息，SEM成為研究

氧化膜形貌特征的非常有用的工具。

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