本文標(biāo)題："STM顯微鏡解析度高于光學(xué)式顯微鏡-精密工藝技術(shù)"
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STM顯微鏡解析度高于光學(xué)式顯微鏡-精密工藝技術(shù)
在各類科技不斷湧現(xiàn)的今天，究竟哪一種技術(shù)才稱得上是革命性的技術(shù)？對此，
不同領(lǐng)域的學(xué)者或有不同的見解，但綜觀目前的科學(xué)主流，一般咸認(rèn)納米科技是最有潛力成為下一個足以影響
人類的革命性技術(shù)之一。
自 1980 年代初發(fā)明了 STM顯微鏡（scanning tunneling microscope）、AFM顯微鏡（atomic
force microscope）等解析程度達原子級的顯微鏡，使得研究人員能夠觀測到材料
的微結(jié)構(gòu)，在此基礎(chǔ)下，材料可被精緻化，舊有材料性質(zhì)得以改善，甚至開發(fā)出
許多性能獨特的新材料，如今這種在超細微尺度下的精密工藝技術(shù)統(tǒng)稱為納米科技
微觀粒子具穿越能障的能力，稱之為穿隧效應(yīng)。在納米科技興起以前，此現(xiàn)
象僅能在原子層級的微觀世界中觀測到，近年來于納米材料的相關(guān)研究，陸續(xù)在
宏觀的實驗里量測到了一些與穿隧效應(yīng)有關(guān)的巨觀物理量，例如納米微粒的磁化
強度和量子相干元件中之磁通量等測量，均發(fā)現(xiàn)穿隧效應(yīng)的現(xiàn)象存在，故稱之為
巨觀量子穿隧效應(yīng)（賴佳伶，2003）。常規(guī)鎳金屬在室溫時呈強鐵磁性，但鎳奈
米粒子卻呈現(xiàn)順磁性，且其飽和磁化率較一般順磁性材料高好幾個數(shù)量級，此行
為被歸類為超順磁性（super-paramagnetism），研究人員便是利用電子的量子穿隧
效應(yīng)來解釋超順磁性行為（羅吉宗等，2003）。巨觀量子穿隧效應(yīng)不僅對基礎(chǔ)研
究有相當(dāng)?shù)闹匾裕瑢嵱没膽?yīng)用更具意義；如在制造半導(dǎo)體積體電路時，當(dāng)
電路尺寸接近電子波長，電子會藉由穿隧效應(yīng)而溢出元件，使原件無法正常工
作。
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